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VU光解是利用紫外灯对VOCs进行近距离照射，破坏化学键，氧化一部分的VOCs为二氧化碳、水和氯化氢；同时将部分的大分子VOCs裂解为小分子化合物，其中小分子化合物大多数均为含C-O、C﹦O的小分子化合物。UV光解能去除挥发性有机物（VOCs）、硫化氢、氨气、硫醇类、苯系物等污染物，为此很多企业在大力推广UV光解技术。UV光解因具有操作简单、应用范围广、运行成本低、设计成本少等特点，已经被众多中小企业应用到中。然而现在环保严格，与活性炭吸附技术连用，UV光解产生一些臭氧和其他一些附属物，利用活性炭吸附吸附特性，以使它们能够处理较高浓度的VOCs废气。